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固體裝配型諧振器的薄膜體

文字:[大][中][小] 2013-6-6  瀏覽次數:2070

  固體裝配型(SMR)諧振器采用布拉格反射層將聲波限製在壓電振蕩堆之內,布拉格反射層采用高低阻抗交替的聲學層。聲波在反射層中兩種不同阻抗的聲學層界麵上發生多次反射,形成駐波.與前兩類器件相比,SMR具有的優點有:

 

 固體裝配型諧振器的薄膜體


  (1)器件的製作過程沒有體加工或表麵加工工藝,工序更加簡單,性能更加穩定。


  (2)器件直接沉積在襯底上,沒有懸空結構,提高了諧振器的抗擊強度。


  (3)由於器件的多層薄膜結構,散熱性較好,對大功率應用而言,可以明顯降低對周圍環境的熱阻抗。


  (4)布拉格反射層的選頻作用可以有效抑製雜波和多次諧波的產生。